今天做用台积0.16um工艺的一个项目Ejob View时发现有些图形会在结尾处的两个直角顶点加两个小小的图形，突然就想起来上学时学MEMS相关课程时做过的一个硅悬臂梁腐蚀的实验，正常的直角腐蚀完后会变成有损缺的圆角，而在相应的位置加上修正图形，便可得到更理想的图形，网上找了个图形，可能看不太清，将就一下
OPC，为英文Optical Proximity Correction简称，翻译成中文为光学临近修正。
今天做用台积0.16um工艺的一个项目Ejob View时发现有些图形会在结尾处的两个直角顶点加两个小小的图形，突然就想起来上学时学MEMS相关课程时做过的一个硅悬臂梁腐蚀的实验，正常的直角腐蚀完后会变成有损缺的圆角，而在相应的位置加上修正图形，便可得到更理想的图形，网上找了个图形，可能看不太清，将就一下
OPC，为英文Optical Proximity Correction简称，翻译成中文为光学临近修正。