半导体制造技术

《半导体制造技术》详细追述了半导体发展的历史并吸收了当今最新技术资料，学术界和工业界对《半导体制造技术》的评价都很高。全书共分20章，根据应用于半导体制造的主要技术分类来安排章节，包括与半导体制造相关的基础技术信息；总体流程图的工艺模型概况，用流程图将硅片制造的主要领域连接起来；具体讲解每一个主要工艺；集成电路装配和封装的后部工艺概况。此外，各章为读者提供了关于质量测量和故障排除的问题，这些都是会在硅片制造中遇到的实际问题。

第1章 半导体产业介绍

第2章 半导体材料特性

第3章 器件技术

第4章 硅和硅片制备

第5章 半导体制造中的化学品

第6章 硅片制造中的沾污控制

第7章 测量学和缺陷检查

第8章 工艺腔内的气体控制

第9章 集成电路制造工艺概况

第10章 氧化

第11章 淀积

第12章 金属化

第13章 光刻：气相成底膜到软烘

第14章 光刻：对准和曝光

第15章 光刻：光刻胶显影和先进的光刻技术

第16章 刻蚀

第17章 离子注入

第18章 化学机械平坦化

第19章 硅片测试

第20章 装配与封装

附录

术语表

中文版下载：http://pan.baidu.com/s/1jAU38
英文版下载：http://pan.baidu.com/s/1qw5ZI